一、送風潔凈度:
要保證送風潔凈度符合要求,關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。
凈化系統末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標準規定高效過濾器效率分四檔:A類為≥99.9%,B類為≥99.9%,C類為≥99.999%,D類為(對≥0.1μm粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器);亞高效過濾器為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高,過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應本著既要滿足送風潔凈度要求,又要考慮經濟合理。從潔凈度要求考慮,以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來:100萬級可選用高中效過濾器;低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬~100級選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾器。這里每個潔凈度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇,選擇高性能的還是低性能的,要視具體情況而定:當環境污染嚴重,或室內排風比例很大,或該潔凈室特別重要,需要較大安全系數,在這些或其中之一情況下,均要選擇高一類過濾器;反之可選擇較低性能過濾器。對0.1μm粒子要求控制的潔凈室,不論控制的粒子濃度高低均要選擇D類過濾器。以上所述僅從過濾器角度出發,實際上要選擇好過濾器還要全面考慮潔凈室特性、過濾器特性和凈化系統特性。
要保證送風潔凈度,僅有合格的過濾器是不夠的,還要保證:a.運輸、安裝過程不損壞過濾器;b.安裝嚴密。要做到,則要求施工安裝人員訓練有素,既要有安裝凈化系統方面的知識,又要具備較熟練的安裝技能,否則將難以保證不損壞過濾器,這方面是有深刻教訓的。其次,安裝嚴密性問題,主要取決于安裝結構型式優劣,設計手冊一般推薦:對于單個過濾器采用明裝型式,這樣即便發生滲漏,也不致漏到室內;采用成品高效送風口,嚴密性也比較容易得到保證。對于多個過濾器的風□,近幾年常采用液槽密封和負壓密封。液槽密封必須保證液槽接縫嚴密和整體框架都處于同一水平面上。負壓密封就是使過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負壓狀態,與明裝型式一樣即使滲漏也不會漏到室內。實際上只要做到安裝框架平整,過濾器端面與安裝框架接觸均勻,任何安裝型式使過濾器達到安裝嚴密性要求應該說是不難的。
二、氣流組織:
潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同,它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此,在設計氣流組織時應考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區以外的污染帶入工作區;盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區的氣流要盡量均勻,且其風速要滿足工藝和衛生要求,當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風方式。
不同的氣流組織,各有其特點和范圍:
1) 垂直單向流:均可獲得均勻向下氣流,便于工藝設備布置,自凈能力強,可簡化人身凈化設施等共同設施等共同優點外,四種送風方式還有其各自優缺點:滿布高效過濾器具有阻力低、更換過濾器周期長等優點,但頂棚結構復雜,造價高;側布高效過濾器頂送、全孔板頂送與滿布高效過濾器頂送的優缺點相反,其中全孔板頂送在系統非連續運行時,孔板內表面易積塵,維護不好,對潔凈度有些影響;密集散流器頂送,因需要一段混和層,所以只適用于4m以上高大潔凈室,其特點與全孔板頂送相仿;對于相對兩側格柵的板和相對兩側墻下部均勻布置回風口的回風方式僅適用兩側凈間距小于6m的潔凈室;單側墻下部布回風口僅適用對墻間距較小(如≤>2~3m)的潔凈室。
2)水平單向流:只在第一工作區達到100級潔凈度,當空氣流向另一側的過程中含塵濃度逐漸升高,所以僅適用于同一房間工藝過程有不同潔凈度要求的潔凈室;送風墻局部布高效過濾器較滿布水平送可減少高效過濾器用量,節約初投資,但局部區域有渦流。
3)亂流型氣流:孔板頂送和密集散流器頂送的特點與前述相同:側送的優點易于管道布置,無需技術夾層,造價低,有利于舊廠房改造,缺點是工作區風速較大,下風側比上風側含塵濃度高;高效過濾器風口頂送具有系統簡單、高效過濾器后無管道、潔凈氣流直接送達工作區等優點,但潔凈氣流擴散緩慢,工作區氣流較均勻;不過當均勻地布置多個風口或采用帶擴散板地高效過濾器風口時,也可使得工作區氣流較均勻;但在系統非連續運行地情況下,擴散板易積塵。
以上論述均屬于較理想狀態,也是國家有關規范、標準或設計手冊所推薦。實際工程中或受限于客觀條件,或由于設計者地主觀原因而未設計好氣流組織,常見的有:垂直單向流采取相鄰兩側墻下部回風,局部百級采用上送上回(即局部送風口下未加下垂圍簾),亂流型潔凈室采用高效過濾器風口頂送上回或單側下回(對墻間距較大)等,這些氣流組織方式經實測,其潔凈度大多數都達不到設計要求。由于現行規范規定空態或靜態驗收,個別的這類潔凈室在空態或靜態下勉強達到設計的潔凈度級別,但抗污染干擾能力很低,一旦潔凈室進入工作狀態就達不到要求。正確的氣流組織局部區域應設圍簾下垂至工作區高度,10萬級也不應采用上送上回。還有目前大多數工廠生產的帶擴散板的高效送風口,其擴散板都只是裝飾性孔板而不起擴散氣流作用,請設計者和用戶要特別注意。
三、送風量或風速:
足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣,根據不同的潔凈度要求,當潔凈室凈高較高時,適當增加換氣次數。其中,100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統考慮,其余均按高效凈化系統考慮;當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過濾器時,可適當提高換氣次數10-20%。
四、靜壓差:
潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等級必不可少地條件之一。即便是負壓潔凈室,它也必須有不低于它潔凈度級別的相鄰房間或套間維持一定地正壓,負壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。
潔凈室正壓值是指門窗全部關閉狀態下,室內靜壓大于室外靜壓的數值。它是通過凈化系統送風量大于回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔凈室正壓值,送風、回風和排風機最好聯鎖,系統開啟時先啟動送風機,再啟動回風機和排風機;系統關閉時先關排風機,再關回風機和送風機,以防止潔凈室在系統開啟和關閉時受到污染。
維持潔凈室正壓所需的風量主要根據維護結構密閉性好壞來確定。我國潔凈室建設初期由于圍護結構密閉性較差,要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前維護結構密閉性已大為提高,維持同樣的正壓只要1~2次/h送風量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風量。
對于一個潔凈室來說,以上四個必要條件必須同時得到滿足,才能保證潔凈度達到要求并具備應有的抗污染干擾能力