塵埃粒子最高允許數(shù)(每立方米):大或等于0.5微米的粒子數(shù)不能超出3500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不能超出20000個(gè);
微生物最高允許數(shù):10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)是:浮游菌數(shù)不能超出500個(gè)每立方米;沉降菌數(shù)不能超出10個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈車(chē)間壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈車(chē)間之間壓差要≥5Pa,潔凈車(chē)間與非潔凈車(chē)間之間要≥10Pa。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜,溫度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在30-50%,春夏季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在50-70%。
配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過(guò)道等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制
一、動(dòng)態(tài)檢測(cè)時(shí),萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的噪音級(jí)不得超出70分貝A。
二、靜態(tài)檢測(cè)時(shí),萬(wàn)級(jí)亂流無(wú)塵室的噪音級(jí)不能超出60分貝A。
氣流組織
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式;
1、局部孔板頂棚送風(fēng);
2、帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng);
3、上側(cè)墻送風(fēng) 等三種送風(fēng)方式。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式:
1、單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口;
2、當(dāng)采用過(guò)道回風(fēng)時(shí),在過(guò)道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
送風(fēng)口風(fēng)速米/秒:
1、孔板孔口3~5;
2、側(cè)送風(fēng)口:
(1)貼附射流2~5;
(2)非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5,對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。
回風(fēng)口風(fēng)速(米/秒):
1、無(wú)塵室回風(fēng)口不超2;
2、過(guò)道內(nèi)回風(fēng)口不超4。